ダマシン配線 - 変更履歴

2009年3月13日 (金) 08:06 における Kumikomiadmin による編集

Kumikomiadmin — Fri, 13 Mar 2009 08:06:06 GMT

←前の版		2009年3月13日 (金) 08:06の版
14 行		14 行
	* [[CMP]]		* [[CMP]]

-	[[Category:組み込み技術全般]] [[Category:LSI]]	+	[[Category:組み込み技術全般\|タマシンハイセン]] [[Category:LSI\|タマシンハイセン]]

Kumikomiadmin: 1 版

Kumikomiadmin — Fri, 13 Mar 2009 07:50:02 GMT

1 版

←前の版

2009年3月13日 (金) 07:50の版

2009年3月13日 (金) 07:40 における Kumikomiadmin による編集

Kumikomiadmin — Fri, 13 Mar 2009 07:40:00 GMT

←前の版		2009年3月13日 (金) 07:40の版
7 行		7 行
	<br>		<br>
	【出典】西久保靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．		【出典】西久保靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
-		+	<!-- 【著作権者】西久保靖彦氏 -->
	<br>		<br>
	<br>		<br>

Kumikomiadmin: 1 版

Kumikomiadmin — Fri, 13 Mar 2009 07:38:45 GMT

1 版

←前の版

2009年3月13日 (金) 07:38の版

2009年3月13日 (金) 03:00 における Kumikomiadmin による編集

Kumikomiadmin — Fri, 13 Mar 2009 03:00:01 GMT

新規ページ

ダマシン配線【Damascene Wiring】
 
 
　絶縁膜表面に溝（トレンチ）をほり，その溝に銅などの金属を電解メッキなどによって埋め込んで，溝以外の金属はCMP（Chemical Mechanical Polish）で除去し，溝部のみに配線を形成する技術．
　銅は微細なエッチングが困難なため，ダマシン配線が主流となる．ダマシン配線には銅やアルミ合金を配線材料に用いる．配線間をつなぐビア・ホールはタングステンなどの金属を用いるシングル・ダマシン配線と，配線とビア・ホールを同種の金属で同時に形成するデュアル・ダマシン配線がある．Damasceneはシリア共和国の首都Damascusにある象嵌技術の一種であり，それに由来する．
 
 
【出典】西久保靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．

 
 
== 関連項目 ==
* [[銅配線]]
* [[CMP]]

[[Category:組み込み技術全般]] [[Category:LSI]]