http://mix.kumikomi.net/index.php?title=%E3%82%B9%E3%83%86%E3%83%83%E3%83%91&action=history このウィキのこのページに関する変更履歴 ja MediaWiki 1.13.2 Thu, 07 May 2026 17:20:08 GMT http://mix.kumikomi.net/index.php?title=%E3%82%B9%E3%83%86%E3%83%83%E3%83%91&diff=8613&oldid=prev <p></p> <table style="background-color: white; color:black;"> <col class='diff-marker' /> <col class='diff-content' /> <col class='diff-marker' /> <col class='diff-content' /> <tr valign='top'> <td colspan='2' style="background-color: white; color:black;">←前の版</td> <td colspan='2' style="background-color: white; color:black;">2009年3月16日 (月) 06:51の版</td> </tr> <tr><td colspan="2" class="diff-lineno">4 行</td> <td colspan="2" class="diff-lineno">4 行</td></tr> <tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background: #eee; color:black; font-size: smaller;"><div>　LSI製造のためのステップ&amp;リピート機構つき露光装置．</div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background: #eee; color:black; font-size: smaller;"><div>　LSI製造のためのステップ&amp;リピート機構つき露光装置．</div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background: #eee; color:black; font-size: smaller;"><div>　従来の露光装置がフォトマスクに1対1対応したパターンを焼き付けるのに対して，ステッパは縮小投影しながらウェハ全面にステップ&amp;リピート機構を用いて焼き付ける．レンズ縮小率が5倍の場合，フォトマスク寸法1μmによってウェハ上の0.2μmを焼き付けることができ，微細パターンの形成においてその効果は大きい．</div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background: #eee; color:black; font-size: smaller;"><div>　従来の露光装置がフォトマスクに1対1対応したパターンを焼き付けるのに対して，ステッパは縮小投影しながらウェハ全面にステップ&amp;リピート機構を用いて焼き付ける．レンズ縮小率が5倍の場合，フォトマスク寸法1μmによってウェハ上の0.2μmを焼き付けることができ，微細パターンの形成においてその効果は大きい．</div></td></tr> <tr><td colspan="2">&nbsp;</td><td class='diff-marker'>+</td><td style="background: #cfc; color:black; font-size: smaller;"><div><ins style="color: red; font-weight: bold; text-decoration: none;">&lt;br&gt;</ins></div></td></tr> <tr><td colspan="2">&nbsp;</td><td class='diff-marker'>+</td><td style="background: #cfc; color:black; font-size: smaller;"><div><ins style="color: red; font-weight: bold; text-decoration: none;">&lt;br&gt;</ins></div></td></tr> <tr><td colspan="2">&nbsp;</td><td class='diff-marker'>+</td><td style="background: #cfc; color:black; font-size: smaller;"><div><ins style="color: red; font-weight: bold; text-decoration: none;">&lt;br&gt;</ins></div></td></tr> <tr><td colspan="2">&nbsp;</td><td class='diff-marker'>+</td><td style="background: #cfc; color:black; font-size: smaller;"><div><ins style="color: red; font-weight: bold; text-decoration: none;">&lt;center&gt;</ins></div></td></tr> <tr><td colspan="2">&nbsp;</td><td class='diff-marker'>+</td><td style="background: #cfc; color:black; font-size: smaller;"><div><ins style="color: red; font-weight: bold; text-decoration: none;">[[画像:lsi_f38.gif]]&lt;br&gt;</ins></div></td></tr> <tr><td colspan="2">&nbsp;</td><td class='diff-marker'>+</td><td style="background: #cfc; color:black; font-size: smaller;"><div><ins style="color: red; font-weight: bold; text-decoration: none;">&lt;br&gt;</ins></div></td></tr> <tr><td colspan="2">&nbsp;</td><td class='diff-marker'>+</td><td style="background: #cfc; color:black; font-size: smaller;"><div><ins style="color: red; font-weight: bold; text-decoration: none;">'''図　ステッパ光源と波長'''</ins></div></td></tr> <tr><td colspan="2">&nbsp;</td><td class='diff-marker'>+</td><td style="background: #cfc; color:black; font-size: smaller;"><div><ins style="color: red; font-weight: bold; text-decoration: none;">&lt;/center&gt;</ins></div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background: #eee; color:black; font-size: smaller;"><div>&lt;br&gt;</div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background: #eee; color:black; font-size: smaller;"><div>&lt;br&gt;</div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background: #eee; color:black; font-size: smaller;"><div>&lt;br&gt;</div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background: #eee; color:black; font-size: smaller;"><div>&lt;br&gt;</div></td></tr> <!-- diff generator: internal 2026-05-07 17:20:08 --> </table> Mon, 16 Mar 2009 06:51:49 GMT Worker http://mix.kumikomi.net/index.php/%E3%83%8E%E3%83%BC%E3%83%88:%E3%82%B9%E3%83%86%E3%83%83%E3%83%91 http://mix.kumikomi.net/index.php?title=%E3%82%B9%E3%83%86%E3%83%83%E3%83%91&diff=7675&oldid=prev <p>1 版</p> <table style="background-color: white; color:black;"> <col class='diff-marker' /> <col class='diff-content' /> <col class='diff-marker' /> <col class='diff-content' /> <tr valign='top'> <td colspan='2' style="background-color: white; color:black;">←前の版</td> <td colspan='2' style="background-color: white; color:black;">2009年3月13日 (金) 07:50の版</td> </tr> <!-- diff generator: internal 2026-05-07 17:20:08 --> </table> Fri, 13 Mar 2009 07:50:01 GMT Kumikomiadmin http://mix.kumikomi.net/index.php/%E3%83%8E%E3%83%BC%E3%83%88:%E3%82%B9%E3%83%86%E3%83%83%E3%83%91 http://mix.kumikomi.net/index.php?title=%E3%82%B9%E3%83%86%E3%83%83%E3%83%91&diff=7674&oldid=prev <p></p> <table style="background-color: white; color:black;"> <col class='diff-marker' /> <col class='diff-content' /> <col class='diff-marker' /> <col class='diff-content' /> <tr valign='top'> <td colspan='2' style="background-color: white; color:black;">←前の版</td> <td colspan='2' style="background-color: white; color:black;">2009年3月13日 (金) 07:40の版</td> </tr> <tr><td colspan="2" class="diff-lineno">7 行</td> <td colspan="2" class="diff-lineno">7 行</td></tr> <tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background: #eee; color:black; font-size: smaller;"><div>&lt;br&gt;</div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background: #eee; color:black; font-size: smaller;"><div>&lt;br&gt;</div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background: #eee; color:black; font-size: smaller;"><div>【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．</div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background: #eee; color:black; font-size: smaller;"><div>【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．</div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>-</td><td style="background: #ffa; color:black; font-size: smaller;"><div>&#160;</div></td><td class='diff-marker'>+</td><td style="background: #cfc; color:black; font-size: smaller;"><div><ins class="diffchange diffchange-inline">&lt;!-- 【著作権者】西久保 靖彦氏 --&gt;</ins></div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background: #eee; color:black; font-size: smaller;"><div>&lt;br&gt;</div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background: #eee; color:black; font-size: smaller;"><div>&lt;br&gt;</div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background: #eee; color:black; font-size: smaller;"><div>&lt;br&gt;</div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background: #eee; color:black; font-size: smaller;"><div>&lt;br&gt;</div></td></tr> <!-- diff generator: internal 2026-05-07 17:20:08 --> </table> Fri, 13 Mar 2009 07:40:00 GMT Kumikomiadmin http://mix.kumikomi.net/index.php/%E3%83%8E%E3%83%BC%E3%83%88:%E3%82%B9%E3%83%86%E3%83%83%E3%83%91 http://mix.kumikomi.net/index.php?title=%E3%82%B9%E3%83%86%E3%83%83%E3%83%91&diff=6791&oldid=prev <p>1 版</p> <table style="background-color: white; color:black;"> <col class='diff-marker' /> <col class='diff-content' /> <col class='diff-marker' /> <col class='diff-content' /> <tr valign='top'> <td colspan='2' style="background-color: white; color:black;">←前の版</td> <td colspan='2' style="background-color: white; color:black;">2009年3月13日 (金) 07:38の版</td> </tr> <!-- diff generator: internal 2026-05-07 17:20:08 --> </table> Fri, 13 Mar 2009 07:38:44 GMT Kumikomiadmin http://mix.kumikomi.net/index.php/%E3%83%8E%E3%83%BC%E3%83%88:%E3%82%B9%E3%83%86%E3%83%83%E3%83%91 http://mix.kumikomi.net/index.php?title=%E3%82%B9%E3%83%86%E3%83%83%E3%83%91&diff=6790&oldid=prev <p></p> <p><b>新規ページ</b></p><div>ステッパ【Wafer Stepper】<br /> &lt;br&gt;<br /> &lt;br&gt;<br /> 　LSI製造のためのステップ&amp;リピート機構つき露光装置．<br /> 　従来の露光装置がフォトマスクに1対1対応したパターンを焼き付けるのに対して，ステッパは縮小投影しながらウェハ全面にステップ&amp;リピート機構を用いて焼き付ける．レンズ縮小率が5倍の場合，フォトマスク寸法1μmによってウェハ上の0.2μmを焼き付けることができ，微細パターンの形成においてその効果は大きい．<br /> &lt;br&gt;<br /> &lt;br&gt;<br /> 【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．<br /> <br /> &lt;br&gt;<br /> &lt;br&gt;<br /> == 関連項目 ==<br /> * [[フォトマスク]]<br /> <br /> [[Category:組み込み技術全般]] [[Category:LSI]]</div> Fri, 13 Mar 2009 03:00:01 GMT Kumikomiadmin http://mix.kumikomi.net/index.php/%E3%83%8E%E3%83%BC%E3%83%88:%E3%82%B9%E3%83%86%E3%83%83%E3%83%91