http://mix.kumikomi.net/index.php?action=history&feed=atom&title=%E3%83%80%E3%83%9E%E3%82%B7%E3%83%B3%E9%85%8D%E7%B7%9A 2026-05-07T03:34:28Z このウィキのこのページに関する変更履歴 MediaWiki 1.13.2 http://mix.kumikomi.net/index.php?title=%E3%83%80%E3%83%9E%E3%82%B7%E3%83%B3%E9%85%8D%E7%B7%9A&diff=8317&oldid=prev 2009-03-13T08:06:06Z

<p></p> <table style="background-color: white; color:black;"> <col class='diff-marker' /> <col class='diff-content' /> <col class='diff-marker' /> <col class='diff-content' /> <tr valign='top'> <td colspan='2' style="background-color: white; color:black;">←前の版</td> <td colspan='2' style="background-color: white; color:black;">2009年3月13日 (金) 08:06の版</td> </tr> <tr><td colspan="2" class="diff-lineno">14 行</td> <td colspan="2" class="diff-lineno">14 行</td></tr> <tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background: #eee; color:black; font-size: smaller;"><div>* [[CMP]]</div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background: #eee; color:black; font-size: smaller;"><div>* [[CMP]]</div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background: #eee; color:black; font-size: smaller;"></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background: #eee; color:black; font-size: smaller;"></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>-</td><td style="background: #ffa; color:black; font-size: smaller;"><div>[[Category:組み込み技術全般]] [[Category:LSI]]</div></td><td class='diff-marker'>+</td><td style="background: #cfc; color:black; font-size: smaller;"><div>[[Category:組み込み技術全般<ins class="diffchange diffchange-inline">|タマシンハイセン</ins>]] [[Category:LSI<ins class="diffchange diffchange-inline">|タマシンハイセン</ins>]]</div></td></tr> <!-- diff generator: internal 2026-05-07 03:34:28 --> </table>

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<p>1 版</p> <table style="background-color: white; color:black;"> <col class='diff-marker' /> <col class='diff-content' /> <col class='diff-marker' /> <col class='diff-content' /> <tr valign='top'> <td colspan='2' style="background-color: white; color:black;">←前の版</td> <td colspan='2' style="background-color: white; color:black;">2009年3月13日 (金) 07:50の版</td> </tr> <!-- diff generator: internal 2026-05-07 03:34:28 --> </table>

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<p></p> <table style="background-color: white; color:black;"> <col class='diff-marker' /> <col class='diff-content' /> <col class='diff-marker' /> <col class='diff-content' /> <tr valign='top'> <td colspan='2' style="background-color: white; color:black;">←前の版</td> <td colspan='2' style="background-color: white; color:black;">2009年3月13日 (金) 07:40の版</td> </tr> <tr><td colspan="2" class="diff-lineno">7 行</td> <td colspan="2" class="diff-lineno">7 行</td></tr> <tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background: #eee; color:black; font-size: smaller;"><div>&lt;br&gt;</div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background: #eee; color:black; font-size: smaller;"><div>&lt;br&gt;</div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background: #eee; color:black; font-size: smaller;"><div>【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．</div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background: #eee; color:black; font-size: smaller;"><div>【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．</div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>-</td><td style="background: #ffa; color:black; font-size: smaller;"><div>&#160;</div></td><td class='diff-marker'>+</td><td style="background: #cfc; color:black; font-size: smaller;"><div><ins class="diffchange diffchange-inline">&lt;!-- 【著作権者】西久保 靖彦氏 --&gt;</ins></div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background: #eee; color:black; font-size: smaller;"><div>&lt;br&gt;</div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background: #eee; color:black; font-size: smaller;"><div>&lt;br&gt;</div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background: #eee; color:black; font-size: smaller;"><div>&lt;br&gt;</div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background: #eee; color:black; font-size: smaller;"><div>&lt;br&gt;</div></td></tr> <!-- diff generator: internal 2026-05-07 03:34:28 --> </table>

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<p>1 版</p> <table style="background-color: white; color:black;"> <col class='diff-marker' /> <col class='diff-content' /> <col class='diff-marker' /> <col class='diff-content' /> <tr valign='top'> <td colspan='2' style="background-color: white; color:black;">←前の版</td> <td colspan='2' style="background-color: white; color:black;">2009年3月13日 (金) 07:38の版</td> </tr> <!-- diff generator: internal 2026-05-07 03:34:28 --> </table>

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<p></p> <p><b>新規ページ</b></p><div>ダマシン配線【Damascene Wiring】<br /> &lt;br&gt;<br /> &lt;br&gt;<br /> 　絶縁膜表面に溝（トレンチ）をほり，その溝に銅などの金属を電解メッキなどによって埋め込んで，溝以外の金属はCMP（Chemical Mechanical Polish）で除去し，溝部のみに配線を形成する技術．<br /> 　銅は微細なエッチングが困難なため，ダマシン配線が主流となる．ダマシン配線には銅やアルミ合金を配線材料に用いる．配線間をつなぐビア・ホールはタングステンなどの金属を用いるシングル・ダマシン配線と，配線とビア・ホールを同種の金属で同時に形成するデュアル・ダマシン配線がある．Damasceneはシリア共和国の首都Damascusにある象嵌技術の一種であり，それに由来する．<br /> &lt;br&gt;<br /> &lt;br&gt;<br /> 【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．<br /> <br /> &lt;br&gt;<br /> &lt;br&gt;<br /> == 関連項目 ==<br /> * [[銅配線]]<br /> * [[CMP]]<br /> <br /> [[Category:組み込み技術全般]] [[Category:LSI]]</div>

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