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出典: くみこみックス

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ポリシリコン【Polycrystalline Silicon】 <br> <br> 　LSIデバイスのゲート電極や配線の材料として用いる．シリコンが単結晶であるのに対して，ポリシリコンは多結晶である．電極や配線などには高濃度に不純物をドープしたポリシリコンを用い，配線シート抵抗値は10～30Ω/□である． <br> <br> 【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月． <!-- 【著作権者】西久保 靖彦氏 --> <br> <br> == 関連項目 == * [[シリコン・ゲート]] * [[シート抵抗]] [[Category:組み込み技術全般|ホリシリコン]] [[Category:LSI|ホリシリコン]]

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