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出典: くみこみックス

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トレンチ・キャパシタ【Trench Capacitor】 <br> <br> 　DRAMメモリ・セルに用いるキャパシタ．シリコン基板中に溝を形成し，単位あたりのキャパシタ面積を大きくとれるように工夫した構造．4M～16Mビットの時代は，スタック・キャパシタとともに各社が採用していたが，64Mビット以降の超微細化構造では製造が困難であるため，DRAMメモリ・セルはスタックト・キャパシタ型が支配的になっている． <br> <br> <br> <center> [[画像:lsi_f57.gif]]<br> <br> '''図　トレンチ・キャパシタ・セルの例（断面図）''' </center> <br> <br> 【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月． <!-- 【著作権者】西久保 靖彦氏 --> <br> <br> == 関連項目 == * [[スタックト・キャパシタ]] [[Category:組み込み技術全般]] [[Category:LSI]]

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