ソースを表示

出典: くみこみックス

以下に示された理由により ページの編集 を行うことができません:

以下にソースを表示しています:

蒸着【Evaporation】 <br> <br> 　シリコン・ウェハなどの半導体基板上に，形成すべき膜材料を熱によって蒸発させて，堆積（付着）する方法．化学反応を用いないことから，物理的気相成長（PVD）とも呼ばれる． <br> <br> 【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月． <!-- 【著作権者】西久保 靖彦氏 --> <br> <br> [[Category:組み込み技術全般|ショウチャク]] [[Category:LSI|ショウチャク]]

蒸着 に戻る。