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出典: くみこみックス

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TEG（Test Element Group） <br> <br> 　プロセス・データ（不純物濃度，加工寸法精度，歩留まり推定など），およびSPICEなどのデバイス・パラメータを取得するためにLSIウェハ上に作成するテスト素子グループ．たとえばCMOS特性評価では，チャネル長とチャネル幅を可変にしたN，Pチャネル型MOSFETを使って，しきい値電圧，相互コンダクタンス依存性の関係などを測定する．また1段インバータ，多段インバータ列，リング発振回路などについて，電流，電圧，遅延特性などのCMOS回路基本特性を確認する． <br> <br> 【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月． <!-- 【著作権者】西久保 靖彦氏 --> <br> <br> == 関連項目 == * [[しきい値電圧]] * [[相互コンダクタンス]] * [[SPICE]] [[Category:組み込み技術全般]] [[Category:LSI]]

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