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出典: くみこみックス

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デポジション【Deposition】 <br> <br> 　シリコン・ウェハなどの半導体基板上に，薄膜を堆積（被着）する工程．酸化や窒化膜形成工程は，シリコンを侵食して形成するが，デポジションは，すべて外部材料が堆積したもの． <br> <br> 【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月． <!-- 【著作権者】西久保 靖彦氏 --> <br> <br> == 関連項目 == * [[酸化]] * [[CVD]] [[Category:組み込み技術全般]] [[Category:LSI]]

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