ソースを表示

出典: くみこみックス

以下に示された理由により ページの編集 を行うことができません:

以下にソースを表示しています:

MEMS（Micro Electro-mechanical System） <br> <br> 　可動部分を有するマイクロ電気機械システム・デバイスの総称．マイクロマシンとも呼ぶ．半導体プロセスと同様の技術によって製造される．加速度センサ，圧力センサ，静電マイクロモータ，流体制御用マイクロバルブ，ミラー型ディスプレイ・デバイスなどがある． <br> <br> 【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月． <br> <br> [[Category:組み込み技術全般]] [[Category:LSI]]

MEMS に戻る。