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サリサイド
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サリサイド【Salicide】 <br> <br> MOSFETのポリシリコン・ゲート,ドレイン,ソースの表面に形成したシリサイド構造.サリサイドを利用すると,ポリシリコン・ゲートの配線抵抗やドレイン,ソースの寄生抵抗を低減して配線遅延を小さくしたり,MOSFETの相互コンダクタンスの劣化を防止できる. <br> <br> 【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月. <br> <br> == 関連項目 == * [[シリサイド]] * [[相互コンダクタンス]] [[Category:組み込み技術全般]] [[Category:LSI]]
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