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出典: くみこみックス

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エピタキシャル成長【Epitaxial Growth】 <br> <br> 　シリコン基板表面に，基板の結晶軸に沿って同じ単結晶構造を形成（成長）させる工程． <br> <br> 【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月． <br> <br> == 関連項目 == * [[エピタキシャル・ウェハ]] [[Category:組み込み技術全般]] [[Category:LSI]]

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